내열성, 내화학성이 우수하여 반도체 공정에서 다양하게 사용되고 있습니다.

세라믹 부품은 플라즈마 식각 챔버의 극한 환경에도 견딜 수 있습니다.

세라믹은 플라스마 에칭 장비, 노즐 및 포커스링, 반도체 웨이퍼, 초소형 전자 부속품 등에 이용이 됩니다.