대표적 Silicon 부품은 Electrode 와 Silicon Ring 이 있으며 고주파 플라즈마를 견디는데 적합합니다.

Electrode 와 Silicon Ring은 미세구멍으로 흐르는 가스를 플라즈마 상태로 변경하는 역할을 하여 실리콘 웨이퍼에 도달한 플라즈마는 불순물을 제거합니다.

Silicon Ring 중 Guide Ring 은 Electrod를 웨이퍼에 평행하게 고정하는 역할을 하고 Focus Ring은 생성된 플라즈마를 정확한 위치로 모이게 하여 하부의 ESC를 보호하는 역할을 합니다.

SIC (Silicon Carbide)는 내열성, 내마모성, 열전도성이 우수하여 웨이퍼의 가장자리에 위치하여 생산 수율을 높여주는 역할을 합니다.